Полупроводниковая промышленность
Деформация дверцы унифицированного контейнера (FOUP) на 0,2 мкм привела к потере вакуума, что привело к загрязнению 3-нм пластин общей стоимостью $500 000. Производство полупроводников требует высочайшей точности, которую традиционные производства не могут обеспечить.
Компания Vanmodel Sheet Metal производит компоненты для поставщиков ASML, Lam Research и Applied Materials. Вот как мы решаем важнейшие задачи в области полупроводников:
Императив плоскостности
- Проблема: Даже деформация в 1 мкм/м² разрушает вакуумные уплотнения в EUV-капсулах
- Решение:
- Старение, снятие стресса: 48-часовое термическое старение при 300°C стабилизирует алюминий
- Точное выравнивание: Шлифовка поверхности до плоскостности 0,5 мкм (проверено лазерными интерферометрами)
- Сварка без деформаций: Импульсная сварка TIG с обратной продувкой аргоном
Контроль загрязнения
- Чистые помещения класса 5: Количество частиц <3520/м³ для критических деталей
- Электрополировка: Достигает Ra<0,1 мкм для поверхностей сверхвысокого вакуума
- Пассивация: Пассивация лимонной кислотой заменяет опасную азотную кислоту
Преимущество скорости производства
- 10-дневный курс FOUP по прототипированию: От САПР до функционального модуля (по сравнению со стандартным для отрасли сроком в 6 недель)
- Удаление заусенцев с нулевым содержанием частиц: Технология магнитно-абразивной обработки (МАФ)
Почему лидеры полупроводниковой отрасли выбирают нас:
- Оборудование: Лазер AMADA LC-3015 F1 мощностью 6 кВт (точность ±0,03 мм)
- Материалы: алюминий 6061-T651, нержавеющая сталь 304/316L с сертифицированным низким газовыделением
- Тестирование: Проверка на утечку гелия до 1×10⁻⁹ Па·м³/с
*«Двери FOUP компании Vanmodel поддерживали вакуум <0,01 Па в течение более 200 циклов, что соответствует спецификациям OEM при более низкой стоимости 40%».* – Производитель полупроводникового оборудования
Требуемая точность полупроводникового класса
Загрузите наш лист спецификаций плоскостности FOUP
